精密機械加工,ベータチタンパイプの
ふたく
二九精密機械工業 株式会社
フェムト秒レーザー精密加工
フェムト秒レーザー精密加工
【特長】
■ 超短パルスレーザー加工・・・
1フェムト秒(fs)は10＾-15秒←1000兆分の1秒
(1フェムト秒で光が直進する距離はおよそ0.3μm)
■ 熱影響が極めて少ない・・・
熱伝導の影響が抑制出来るため、加工部位周辺の熱変性領域が小さい
■ 加工精度が高い・・・
加工精度：ｻﾌﾞμm～数μm以下
〈加工機〉
【加工事例】
●バイオマスプラスチックへのステント形状加工●
材料：ポリ乳酸チューブ(素材：富士ケミカル ラクリエKP9000)
サイズ：ODφ1.52 IDΦ1. 09
波長：近紫外波長
●サファイヤガラスへの加工●
材料：サファイヤガラス
サイズ：t=0.8mm
波長：近赤外波長
(切断部拡大)
Φ0.8mm×深さ0.25mm 中央Φ0.2mm
（拡大）
0.3mm×0.3mm×深さ0.3mm(斜め45°ﾃｰﾊﾟｰ)
（拡大）
●メディカルチューブへの加工●
材料：医療用ポリイミドチューブ(VASCULEX Type-B)
サイズ：IDφ1.0×t0.14mm(角穴0.5mm×2.0mm)
波長：近紫外波長
(ストレート切断)
(切断面拡大）3種類の材質違いを同一条件にて同時加工
●Ni-Tiパイプへのディンプル加工●
材料：Ni-Tiパイプ
サイズ：ODφ6.0×t0.5mm
波長：近紫外波長
φ1.0ディンプル穴
左側より
深さ：
0.5mm(貫通)、0.4mm、0.3mm
0.2mm、 0.1mm、0.05mm
●モリブデンへの加工●
材料：モリブデン
サイズ：t0.5mm
波長：可視
0.4mm×0.4mm×深さ0.2mm
↓
(拡大)
（角部拡大）
0.3mm×0.3mm×深さ0.3mm
(斜め45°ﾃｰﾊﾟｰ)
(拡大)
●シリコンウエハーへの加工●
材料：シリコンウエハー（ダミーグレード)
サイズ：t0.28mm
波長：可視
Φ0.5mm貫通穴：Φ0.2mm貫通穴
(φ0.5mm拡大)
(φ0.2mm拡大)
0.3mm×0.3mm×深さ0.3mm
(斜め45°ﾃｰﾊﾟｰ)
(拡大)
●ジルコニアへの貫通六角穴加工●
材質：ジルコニア
サイズ：t=0.5mm 1辺 0.3mm
波長：可視
●窒化珪素への加工●
材質：窒化珪素
サイズ：深さ0.3mm 1辺0.3mm
波長：可視
●Ni-Tiパイプへ不等ピッチスパイラル加工●
材質：Ni-Tiパイプ
サイズ：19ゲージパイプ
波長：可視
