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フェムト秒レーザー 精密加工

【特長】

■ 超短パルスレーザー加工・・・
  1フェムト秒(fs)は10^-15秒←1000兆分の1秒
  (1フェムト秒で光が直進する距離はおよそ0.3μm)
■ 熱影響が極めて少ない・・・
  熱伝導の影響が抑制出来るため、加工部位周辺の熱変性領域が小さい
■ 加工精度が高い・・・
  加工精度:サブμm~数μm以下

フェムト秒レーザー 精密加工

〈加工機〉

» フェムト秒レーザー比較表.pdf

【加工事例】

●バイオマスプラスチックへのステント形状加工●

材料:ポリ乳酸チューブ(素材:富士ケミカル ラクリエKP9000)
サイズ:ODφ1.52 IDΦ1. 09
波長:近紫外波長

  • バイオマスプラスチックへのステント形状加工
  • バイオマスプラスチックへのステント形状加工
  • バイオマスプラスチックへのステント形状加工
  • バイオマスプラスチックへのステント形状加工
  • バイオマスプラスチックへのステント形状加工

●サファイヤガラスへの加工●

材料:サファイヤガラス
サイズ:t=0.8mm
波長:近赤外波長

  • フェムト パズル サファイヤ
  • サファイヤガラスへの加工

    (切断部拡大)

  • フェムト すり鉢穴 サファイヤ
    Φ0.8mm×深さ0.25mm 中央Φ0.2mm
  • フェムト すり鉢穴 サファイヤ

    (拡大)

  • フェムト ブロックパターン サファイヤ
  • フェムト ブロックパターン サファイヤ

    0.3mm×0.3mm×深さ0.3mm(斜め45°テーパー)

  • フェムト ブロックパターン サファイヤ

    (拡大)

  • フェムト ブロックパターン サファイヤ

●メディカルチューブへの加工●

材料:医療用ポリイミドチューブ(VASCULEX Type-B)
サイズ:IDφ1.0×t0.14mm(角穴0.5mm×2.0mm)
波長:近紫外波長

  • フェムトスパイラル
  • フェムト窓断面
  •  

    (ストレート切断)

  • メディカルチューブへの加工 切断面拡大

    (切断面拡大)3種類の材質違いを同一条件にて同時加工

●Ni-Tiパイプへのディンプル加工●

材料:Ni-Tiパイプ
サイズ:ODφ6.0×t0.5mm
波長:近紫外波長

Ni-Tiパイプへのディンプル加工

φ1.0ディンプル穴
左側より
深さ:
0.5mm(貫通)、0.4mm、0.3mm
0.2mm、 0.1mm、0.05mm

●モリブデンへの加工●

材料:モリブデン
サイズ:t0.5mm
波長:可視

モリブデンへの加工

0.4mm×0.4mm×深さ0.2mm

  • モリブデンへの加工(拡大)

    (拡大)

  • モリブデンへの加工(角部拡大)

    (角部拡大)

  • モリブデンへの加工(拡大)
  • モリブデンへの加工

    0.3mm×0.3mm×深さ0.3mm
    (斜め45°テーパー)

  • モリブデンへの加工

    (拡大)

●シリコンウエハーへの加工●

材料:シリコンウエハー(ダミーグレード)
サイズ:t0.28mm
波長:可視

シリコンウエハ フェムト加工

Φ0.5mm貫通穴:Φ0.2mm貫通穴

  • シリコンウエハーへの加工 拡大

    (φ0.5mm拡大)

  • シリコンウエハーへの加工 拡大

    (φ0.2mm拡大)

  • シリコンウエハー
  • シリコンウエハーへの加工

    0.3mm×0.3mm×深さ0.3mm
    (斜め45°テーパー)

  • シリコンウエハーへの加工

    (拡大)

  • シリコンウエハーへの加工 拡大

●ジルコニアへの貫通六角穴加工●

材質:ジルコニア
サイズ:t=0.5mm 1辺 0.3mm
波長:可視

ジルコニアへの貫通六角穴加工
ジルコニアへの貫通六角穴加工

●窒化珪素への加工●

材質:窒化珪素
サイズ:深さ0.3mm 1辺0.3mm
波長:可視

窒化珪素への加工
窒化珪素への加工
窒化珪素への加工

●Ni-Tiパイプへ不等ピッチスパイラル加工●

材質:Ni-Tiパイプ
サイズ:19ゲージパイプ
波長:可視

Ni-Tiパイプへ可変ピッチスパイラル加工
Ni-Tiパイプへ可変ピッチスパイラル加工