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vol.44 フェムト秒レーザー加工原理と活用事例

vol.44 フェムト秒レーザー加工原理と活用事例

■ フェムト秒レーザー加工原理

Q. フェムト秒レーザー加工では、なぜ綺麗な切断面の仕上がりと極めて微細な加工ができるのでしょうか?  

A.フェムト秒(1000兆分の1秒)という極めて短い時間、微細な加工領域に強いエネルギーを集中し、一瞬で材料を気化させることで、周辺部への熱影響を抑えた精緻なレーザー加工が可能になるからです。

フェムト秒レーザーの原理のイラスト

■ フェムト秒レーザー加工事例

 ● 金属および樹脂材料、セラミックに微細な穴開けやカット、微細模様の加工例

シリコンウエハの写真
シリコンウエハ □1.4 mm
サファイヤガラスの写真
サファイヤガラス t0.8 mm
t2 mmのSUS版の写真
SUS板 □2 mm

● 透明材料にガラスや透明樹脂への微細流路の作製例

透明材料にガラスや透明樹脂への微細流路の作製例の写真
透明材料にガラスや透明樹脂への微細流路の作製例の図面

■ レーザー加工機の仕様

レーザー加工機の写真
波長と最大出力 1030 nm(基本波)20 W
515 nm(2倍波)10W
343n(3倍波)5 W
加工軸 X-Y軸移動(吸着ステージ)
Z軸移動(レーザー照射ユニット)
回転チャック(上下角調整可)
加工品寸法 パイプΦ0.5~Φ4 mm
幅200 mm×奥100 mm以下
最小加工寸法 溝幅 10 μm
穴加工Φ10 μm (5°テーパー) 

■ フタクメールマガジン「フェムト秒レーザー加工」の技術情報

●「フェムト秒レーザを駆使して微細加工の究極を目指す! 」Vol.14

●「フェムト秒レーザー加工機の活動状況 」Vol1

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