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vol.14 フェムト秒レーザを駆使して微細加工の究極を目指す!
vol.14 フェムト秒レーザを駆使して微細加工の究極を目指す!
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フェムト秒レーザ加工機を導入して2年半が経過。 金属、樹脂、ガラス、シリコン、セラミックなど様々な案件に取り組みレーザ加工技術が進化してきました。「フェムト秒レーザ加工機の精度や形状は、どこまでできるの？」との問い合せをいただきます。今回は､ミクロンの微細加工を行いレーザ顕微鏡と電子顕微鏡を用いて、形状観察しましたので紹介いたします。
■ フェムト秒レーザの高精度加工
【 フィルムへの微細穴加工 】
● 熱影響の少ないバリなし高精度加工が可能高密度の10 μm微細穴加工ができます。
●フィルムや小径パイプなどの加工例です。
0.05 ｍｍ厚
● 穴径 ： Φ11 μｍ
● ピッチ ： 31 μｍ
● 穴数：100個
●レーザー顕微鏡で拡大観察
【 SUS板への微細溝加工(ナノ周期構造) 】
● パルスレーザの誘起周期を用いることで表面にナノ周期構造が形成できます。
● 溝の加工角度を変えることで、円板にはきれいな 虹模様が見られます。
● 材料外径：Φ35 ｍｍ
● 材質：SUS304
● 加工寸法
溝幅：約0.5 μｍ
ピッチ：約0.8 μｍ
溝数 ： 約1250本/ｍｍ
● 材料外径：Φ35 ｍｍ
● 材質：SUS304
● 加工寸法
溝幅：約 0.5 μｍ
ピッチ：約 0.8 μｍ
溝数：約1250本/ｍｍ
● 電子顕微鏡（ＳＥＭ）で拡大観察
●フェムト秒レーザの加工形状をその場で確認いただけます。また、変更対応もいたします。
●「ナノ」レベルの材料表面観察や元素分析・寸法測定が、すぐその場で行えます。
● Youtubeから、「フェムト秒レーザ加工と電子顕微鏡測定」をご覧ください。
