vol.82 マスク投影で精密描画　エキシマレーザー加工技術

二九精密機械工業株式会社では、エキシマと超短パルスの複合レーザー加工機、超短パルスレーザー専用加工機、連続発振レーザー長尺加工機など各種レーザー加工機を取り揃えています。また、各種加工技術と組み合わせることで、お客様のニーズに対して最適なレーザー加工部品を提供することができます。今号では、エキシマレーザー加工の描画性を中心に、精密レーザー加工技術を紹介します。

エキシマレーザーとは

エキシマレーザーの加工方法

マスクパターンを集光レンズで縮小投影し、加工基材にパターン加工を行います。
レーザー光を均一に照射することで、滑らかなパターン加工が可能になります。

エキシマレーザー加工の特徴 （フェムト秒レーザー加工との比較）

レーザー種類	エキシマレーザー	フェムト秒レーザー
最レーザー 波長/出力	193nm/10～30W	1030nm/20W 515nm/10W 343nm/ 5W
パルス幅	10～30ns	300fs～10ps
最小加工径	Φ10μｍ（円形）	Φ15μｍ（楕円形）
最大加工厚み	数μｍ～100μｍ （素材、加工内容による）	～1000μｍ（素材、加工内容による）
パターン加工方法	パターン照射（1mm×2.4mm）	パルスドット描写
パターン描画性	広範囲の一斉照射（マスク使用）による、滑らかなパターン描画性	収束した超短パルスレーザー光による、精緻なドット状のパターン描画性