vol.92 欠け・焼けを抑制！超短パルスレーザーによる「AlN基板」精密加工｜二九精密機械工業

精密機械加工,ベータチタンパイプの

ふたく
二九精密機械工業株式会社

HOME » FUTA・Qメルマガ » レーザー加工 » vol.92 欠け・焼けを抑制！超短パルスレーザーによる「AlN基板」精密加工

vol.92 欠け・焼けを抑制！超短パルスレーザーによる「AlN基板」精密加工

更新日：2026年10月21日

FUTA・Qでは、長年培った加工データと経験をベースに、新たな時代に挑むお客様からの要望に応えるため、新素材や新たな加工技術への挑戦を続けています。
今号では、超短パルスレーザー（フェムト秒レーザー）を用いて製作した、「AlN（窒化アルミニウム）基板のハニカム構造」の加工技術についてご紹介します。

超短パルスレーザーを用いることで、熱影響を最小限に抑え、「欠け」や「焼け」のない精緻なパターン加工を実現しました。

精緻なハニカム構造で軽量化と放熱性向上へ

AlN（窒化アルミニウム）は「優れた熱伝導性」と「電気絶縁性」を兼ね備えた高機能セラミックスですが、「硬く脆い」という特性があります。

ハニカム数　550個
板厚　　400μm
対辺距離　　870μm
リブ幅　　200μm

これまで蓄積した技術やデータをもとに、加工条件を最適化。微小領域を高い自由度で制御し、素材の持ち味をしっかり引き出します。

AlNのような高機能セラミックスをはじめ、銅などの金属材料、高機能樹脂、それらを組み合わせた複合材料など、お客様の「こんな加工がしたい」という幅広いご要望にお応えします。

銅基板へのパターン加工
(直径19.5mm)