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vol.69 「エキシマ・フェムト秒レーザーの複合加工機」の紹介
vol.69 「エキシマ・フェムト秒レーザーの複合加工機」の紹介
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ＦＵＴＡ・Ｑでは、エキシマレーザーとフェムト秒レーザーの複合加工機を新たに導入しました。エキシマレーザー加工では、マスクを用いることで同時に複数の微細加工を行うことができます。また、今回導入するレーザー複合加工機では、同じワークにエキシマレーザーとフェムト秒レーザの加工を重ねて行うことができるため、お客様の様々なご要望により細やかに対応することが可能になりました。
■ エキシマレーザー加工とは
エキシマレーザーは、193nmの真空紫外線を高効率かつ高出力で発振するガスレーザーです。エネルギー密度が大変高く、レーザー照射範囲（18 mm×28 mm）と広い面積で、加工に必要なエネルギーが得られます。光路上に精緻なマスクを設置することによって、多数の穴や溝などからなるパターンを瞬時に加工できます。
■ フェムト秒レーザーで連続加工
同じワークに、エキシマレーザー加工とフェムト秒レーザー加工を連続して行うことができます。
■ FUTA・Q保有のレーザー加工機加工機の仕様
| FUTA・Q保有の レーザー加工機 | エキシマ・フェムト秒レーザー複合加工機 | フェムト秒 レーザー加工機 | ピコ秒～フェムト秒レーザー加工機 | ファイバー レーザー加工機 |
| 特徴 | エキシマとフェムト秒のレーザー加工が可能（上記参照） | 超短時間にレーザーを集光し、熱影響を抑えた加工が可能 | 熱影響を抑えたレーザーによる長尺連続加工が可能 | 高出力レーザーによる高速で深い深度の連続加工が可能 |
| レーザー波長/ 出力 | エキシマ： 193 nm/10～30 W フェムト秒：右表同様 | 1030 nm/20 W 515 nm/10 W 343 nm/ 5 W | 1035 nm/60 W | 800 nm～125 nm /200 W |
| パルス幅 | エキシマ：12～30 ns フェムト秒：右表同様 | 300 fs(固定) | 350 fs～10 ps(可変) | μs～連続波 |
| 加工可能サイズ | 400 mm×300 mm以下 | ﾊﾟｲﾌﾟφ0.5～φ4 mm 100 mm×100 mm以下 | φ0.2 mm～φ25 mm 素材長 1.8 m | φ0.35 mm～φ15 mm 素材長 1.8 m |
| 最小加工径 ※ | ご相談ください | φ0.01 mm | φ0.02 mm | φ0.05 mm |
| 加工深さ ※ | ご相談ください | ～0.5 mm | 0.01 mm～0.5 mm | ～数mm |
※穴形状や溝形状は加工条件などによって変化します。
☆ 微細で高品質なレーザー加工が必要な際には、二九精密機械工業にご相談ください！
