FUTA・Qメールマガジン

2025/10/20

vol.82 マスク投影で精密描画 エキシマレーザー加工技術

vol.82 マスク投影で精密描画 エキシマレーザー加工技術

FUTA・Qでは、複数のレーザー加工機を保有しており、加工対象や目的に応じて最適な技術をご提案しています。
今回ご紹介する「エキシマレーザー加工」は、193nmという極めて短波長の紫外線を用いたマスク投影方式により、
フェムト秒レーザー加工よりも滑らかで精密なパターン描画が可能です。
本号では、両者の加工仕様やサンプルを比較し、それぞれの特徴を明確にしました。

↓PDF資料:フタクメールマガジンVol.82
vol.82 マスク投影で精密描画 エキシマレーザー加工技術

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