FUTA・Qメールマガジン

2026/09/25

vol.92 欠け・焼けを抑制! 超短パルスレーザーによる「AlN基板」精密加工

熱伝導性と電気絶縁性に優れる一方で「硬く脆い」とされるAlNですが、
超短パルスレーザー(フェムト秒レーザー)を用いることで、熱影響を最小限に抑え、
「欠け」や「焼け」のない精緻なパターン加工を実現しました。

↓PDF資料:フタクメールマガジンVol.92
vol.92 欠け・焼けを抑制! 超短パルスレーザーによる「AlN基板」精密加工

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