フェムト秒レーザ加工と電子顕微鏡測定

京都工場のフエムト秒レーザ加工から電子顕微鏡（SEM）、レーザ顕微鏡測定までを紹介します。 超短パルスレーザで様々な材料に極めて熱影響の少ないレーザ加工ができます。今回はポリィミドの微細穴加工とSUS板の極細溝加工の限界に挑戦します。

【関連技術】
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